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Coloque el sustrato sobre el mandril spin- revestidor . Con una pipeta , coloque suficiente SU8 2.002 resistir sobre el sustrato debe estar cubierto completamente . Programar el spin- revestidor a girar a 500 rpm durante 10 segundos y luego a 2000 rpm durante 30 segundos. Los estados hoja de especificaciones del fabricante que esto debería conducir a un espesor de 2,4 micras resistir .
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Retire la muestra de la spin- revestidor y colocarlo en una placa caliente ajustada a 95 grados Celsius o 203 grados Fahrenheit . Deja la muestra sobre la placa caliente durante dos minutos. Retire la muestra y dejar enfriar durante cinco minutos .
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Coloque la foto - máscara en el alineador de máscara . Colocar la muestra bajo la máscara . Exponer la muestra. Retire la muestra del alineador de máscara y colocarlo en un vaso de desarrollo, sobre un minuto. Después del revelado, enjuague muestra en alcohol isopropílico . Ahora la muestra consistirá en una serie de fosas con dibujos , que el cobre puede ser depositado en terminar el PCB .
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Coloque una bolita de cobre en el crisol cámara de evaporación . Vaciar la cámara de evaporación a una presión de aproximadamente 10 ^ -6 mbar o 10 ^ -4 Pascales . Depositar el espesor deseado del cobre. Retire la muestra del evaporador . Colocar la muestra en un vaso de precipitados de acetona . Esto elimina los SU8 restantes resisten , y deja las pistas de cobre . Enjuague la muestra en un vaso de IPA . El PCB es completa