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Coloque el sustrato de silicio en el mandril spin- revestidor . Seleccione una velocidad de giro de 3000 RPM , y un tiempo de vuelta de 2 minutos. Ponga unas gotas de S1813 sobre el sustrato y empezar el giro .
2
Encienda la placa caliente y ponerlo a 110 grados Celsius ( 230 grados Fahrenheit ) . Espere hasta que la placa caliente se ha alcanzado la temperatura de consigna. Colocar la muestra en el plato caliente durante 2 minutos . Retire la muestra y dejar enfriar .
3
Poner la muestra en el alineador de máscara , y coloque la máscara con la pista circular en el alineador de máscara encima de la muestra . Exponer la muestra a la luz ultravioleta durante 2 segundos .
4
Colocar la muestra en el desarrollador S1813 durante 30 segundos. El revelador elimina las partes expuestas de la muestra , formando una pista circular de que el material superconductor se puede depositar en .
5
Colocar la muestra en el evaporador , y colocar unas bolitas de niobio en el crisol de evaporación . Evaporar 100 nanómetros de niobio . Retire la muestra de la cámara de evaporación. Colocar la muestra en acetona. La acetona elimina todas partes de la foto - se resisten abandonar la pista circular superconductor . La muestra es completa . El niobio es superconductor por debajo de 9,3 grados Kelvin .