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Encienda la bomba rotativa y esperar a que la presión de llegar a 10 ^ -3 milibares. Encienda la bomba turbo, y esperar a que la rampa encima . Espere hasta que una presión de aproximadamente 10 ^ -6 milibares se alcanza .
2
Conecte el cable RF entre la unidad de acoplamiento de RF y la fuente de alimentación de RF. Conecte otro cable entre la unidad de acoplamiento de radiofrecuencia , y la cámara de vacío RF socket electrodo.
3
Cierre parcialmente la válvula a la bomba turbo. Encienda el controlador de flujo de masa de argón , y establecer una presión de 15 milibares. Encienda la fuente de alimentación de RF y la unidad correspondiente. Establecer un alero de poder de 50 Watts. La unidad de acoplamiento se escucha ya que trata de minimizar la potencia RF reflejada. Cuando la potencia reflejada es menor al 1 por ciento de la potencia directa , aumentar la potencia directa a aproximadamente 150 vatios. El plasma dentro de la cámara debe encenderse , y ser visible cuando la cámara de vista - puerto. Reducir lentamente la ala-pívot de nuevo a 50 Watts. Se crea el plasma par RF.