Cómo calcular la desalineación en grabado anisotrópico

Identificación de desalineamiento - o falta de coincidencia de las células - en el grabado anisotrópico requiere un método de cálculo llamada " compensación de tiempo . " Esto se puede ver cuando se te plantea un algoritmo que se utiliza cuando se simula el proceso de grabado de silicio en una EDP ​​, KOH o TMAH solución . Cuando se utiliza el método de autómatas celulares ( CA ) para la simulación de ataque químico , el sustrato está representado por las células individuales que están contenidos dentro de una estructura de red cristalina . Instrucciones Matemáticas 1

escribir la ecuación para determinar el número de pasos de grabado . Esto se expresa como N ( t) = [M /G ( s ) T ] t. Un valor por defecto de 1 se utiliza para la T. El valor de M es un múltiplo de E ( s ) T. El valor de E ( s ) es [ 0,1] .
2

Escribe la ecuación para determinar la velocidad de grabado equivalente del material de la superficie . Esto se expresa como : .

E ( s ) = M /N ( t) T = M /( M /E ( s ) T) T = E ( s )

Si M no es un múltiplo de E ( s ) T, a continuación, una falta de coincidencia se producirá porque el grabado de la celda de al lado no se inicia inmediatamente.
3

Tome nota de " k ", que se utiliza para identificar un paso de grabado . El siguiente paso en el proceso de grabado se etiqueta como k + 1 . Observe el balance de tiempo para un paso de grabado como Tb ( k).
4

Escriba la ecuación utilizada para calcular la compensación de tiempos . Esta ecuación se expresa como :

M ( k ) > E ( s ) ( T + Tb ( k - 1 )

entonces

T ( k ) = T + Tb ( k - 1 )

M ( k 1 ) = M ( k ) - E ( s) T ( k )

Tb ( k ) = 0

más

T ( k ) = M ( k ) /E ( s )

M ( k +1 ) = 0

Tb ( k ) = T - T ( k )

El resultado final del método de compensación de tiempo de resultados en una ecuación que se expresa como :

E ( s ) = M ( k ) /T ( k) = E ( s ) para un paso de grabado k